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新聞動(dòng)態(tài)

 
鈦酸鍶鋇特能特點(diǎn)展示
 


     鈦酸鍶鋇材料的特點(diǎn)與應(yīng)用 鈦酸鍶鋇(Ba。Sr,輔03,簡稱BSn材料由于具有漏電流小、不易疲勞、居里溫度可 調(diào)、熱釋電系數(shù)高、介電非線性強(qiáng)等眾多優(yōu)點(diǎn),被認(rèn)為是在微電子集成器件領(lǐng)域中具有 廣泛應(yīng)用前景的材料【卜51,可應(yīng)用于高密度動(dòng)態(tài)隨機(jī)存儲(chǔ)器(DRAM),去耦電容器,移相器,紅外熱釋電探測器,壓電微制動(dòng)器等方面。

    鈦酸鍶鋇是鈦酸鋇(BaTi03)和鈦酸 鍶(SrTi03)的完全固溶體,可以通過改變組分中的Ba/Sr比來調(diào)節(jié)材料的居里溫度(Tc), 以滿足對材料某方面特性的追求。鈦酸鋇和鈦酸鍶的居里溫度分別為120和-163。當(dāng)材料工作在居里溫度以上時(shí),材料呈順電相;當(dāng)工作在居里溫度以下時(shí),材料呈鐵電相。 BST是一種典型的鈣鈦礦結(jié)構(gòu)材料,從結(jié)構(gòu)上可以看成是sP離子部分取代了 BaTi03中的Ba2+離子而形成。鈣鈦礦型鐵電體是為數(shù)較多的一類鐵電體,其通式為 AB03。

    鈣鈦礦結(jié)構(gòu)可用簡立方品格柬描寫,每個(gè)格點(diǎn)代表圖1-l所示的一個(gè)結(jié)構(gòu)基元。 鈣鈦礦結(jié)構(gòu)的一個(gè)結(jié)構(gòu)基元頂角為較大的A離子占據(jù),體心為較小的B離子占據(jù),六個(gè)面心則為O離子占據(jù)。這 些氧離子形成氧八面體,B離子處于其中心。整個(gè)晶體可看成由氧八面體共頂點(diǎn)聯(lián)結(jié)而 成,各氧八面體之間的空隙則由A離子占據(jù)。A和B的配位數(shù)分別為12和6。氧八面 體有3個(gè)四重軸、4個(gè)三重軸和6個(gè)二重軸。

    鈣鈦礦鐵電體的自發(fā)極化 主要來源于B離子偏離八面體中心的運(yùn)動(dòng)。B離子偏離中心的位移通常沿這三個(gè)高對稱 性方向之一,故白發(fā)極化也是沿這三個(gè)方向之一。 BaTi03是一種鈣鈦礦鐵電體。在120以上為順電相,空間群Pm3m。 圖1.2氧八面體及其二重、二重和四重旋轉(zhuǎn)對稱軸在120發(fā)生順電一鐵電相變,呈四方相,空間群為P4mm,自發(fā)極化沿四重軸。在5 發(fā)生鐵電-鐵電相變,呈正交相,空『日J群為Amm2,自發(fā)極化沿二重軸。在.90發(fā)生另 一鐵電.鐵電相變,空I’日J群為R3m,自發(fā)極化沿三重軸。BaTi03在3個(gè)鐵電相的晶胞和自發(fā)極化的方向。在四方相、正交相和三角相中,自發(fā)極化的主要來源是 Ti離子偏離中心沿四重軸、二重軸和三重軸的位移。在立方相,Ti離子位于氧八面體的中心,整個(gè)晶體無自發(fā)極化。各個(gè)鐵電相都可以認(rèn)為是順電相演變而來的。 

    眾所周知,具有熱釋電性能的鐵電材料眾多,如BST、PT、PST、PLZT等。作為 非致冷紅外熱釋電探測器應(yīng)用相關(guān)的材料特征主要有: (1)熱釋電材料對其溫度變化響應(yīng),而不是對溫度本身響應(yīng); (2)具有廣譜效應(yīng),因而可用光學(xué)濾波器可設(shè)計(jì)不同工作波長的探測器; (4)材料呈電容性,熱損小,工作在室溫附近,無需致冷,器件成本低; (5)介質(zhì)本身的熱噪聲是主要熱噪源; (6)綠色環(huán)保材料,無污染。 BST材料能夠在以上方面有相當(dāng)突出的優(yōu)勢。 如前所述,BST材料由于Tc可調(diào),且具有良好的鐵電性、壓電性、熱釋電性、電光 及非線性光學(xué)特性等,可廣泛應(yīng)用于微電子學(xué)、光電子學(xué)、集成光學(xué)和微電子機(jī)械系統(tǒng) 等領(lǐng)域,是目前高新技術(shù)研究的前沿和熱點(diǎn)之一。BST材料可應(yīng)用的領(lǐng)域有:(1)介 質(zhì)移相器【17-201。移相器主要有鐵氧體移相器、PINZ.極管移相器、介質(zhì)移相器三大類。 與其他兩類移相器相比,介質(zhì)移相器具有響應(yīng)速度快、插入損耗小、工作溫區(qū)寬、功耗 第一章緒論小、質(zhì)量輕、生產(chǎn)成本低等優(yōu)點(diǎn)。而BsT材料能在移相器所要求的介電可調(diào)性高和損耗 低這兩個(gè)方面顯示出突出的優(yōu)勢。(2)動(dòng)態(tài)隨機(jī)存儲(chǔ)器(DRAM)【21221。動(dòng)態(tài)隨機(jī)存儲(chǔ)器 在計(jì)算機(jī)的大量應(yīng)用,是在集成電路的硅平面工藝基礎(chǔ)上發(fā)展起來的。由于BST材料具 有良好的化學(xué)穩(wěn)定性、熱穩(wěn)定性和絕緣性,而且在高頻(>lOGHz)下具有高介電常數(shù), 因而BST材料成為目前制備高密度、Gbit級DRAM中電容器介質(zhì)的首選材料。(3)熱釋 電紅外探測器【23訓(xùn)1。熱釋電效應(yīng)是指晶體由于溫度變化而產(chǎn)生電極化的現(xiàn)象,它在工程 技術(shù)領(lǐng)域的主要應(yīng)用是利用熱釋電材料制作熱釋電探測器和熱釋電攝相管。在這種應(yīng)用 中,熱釋電敏感元件將熱輻射信號轉(zhuǎn)變?yōu)殡娦盘栞敵觥Ec傳統(tǒng)的紅外探測器相比,熱釋 電紅外探測器具有明顯的優(yōu)點(diǎn):能在室溫下工作,不需要致冷;具有廣譜效應(yīng)。(4) H2探測器【42刪。H2探測器是最近幾年發(fā)現(xiàn)的新應(yīng)用。其工作原理是:在H2和空氣環(huán)境 中,Pd/(BaSr)Ti03/Pt電容器的^瞞性發(fā)生改變。 

 

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